日本精工 X射線鍍層厚度測(cè)定儀SFT-110概述
日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司推出配備自動(dòng)定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110],使操作性進(jìn)一步提高。
對(duì)半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測(cè)量管理,可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì),降低成本。精工從1971年首次推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高精度測(cè)量的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x以來(lái),已經(jīng)累計(jì)銷售6000多臺(tái),得到了國(guó)內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測(cè)量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測(cè)量需求,精工開(kāi)發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110。通過(guò)自動(dòng)定位功能,僅需把樣品放置到樣品臺(tái)上,就可在數(shù)秒內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。由此,無(wú)需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作,大大提高了樣品測(cè)量的操作性。
近年來(lái),隨著檢測(cè)零件的微小化,對(duì)微區(qū)的高精度測(cè)量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。并且,配備有新開(kāi)發(fā)的薄膜FP法軟件,即使沒(méi)有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測(cè)量,可對(duì)應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。
型號(hào) |
SFT-110 | |||
測(cè)量元素 |
原子序號(hào)22(Ti)~83(Bi) | |||
X射線源 |
空冷式小型X射線管 管電壓: 50kV 管電流: 1mA | |||
檢測(cè)器 |
比例計(jì)數(shù)管 | |||
準(zhǔn)直器 |
○型: 0.1mmφ、0.2mmφ 2種 | |||
樣品觀察 |
CCD攝像頭(可進(jìn)行廣域觀察) | |||
對(duì)焦 |
激光點(diǎn)(自動(dòng)) | |||
濾波器 |
一次濾波器: 自動(dòng)切換 | |||
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500(W) x400(D) x 150(H)mm X:250mm, Y:200mm | |||
操作部 |
電腦、19寸液晶 | |||
測(cè)量軟件 |
薄膜FP法 (最多5層膜、10種元素)、標(biāo)準(zhǔn)曲線法 | |||
數(shù)據(jù)處理 |
配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word | |||
安全機(jī)構(gòu) |
樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能 | |||
選配 | ||||
• 圖像處理軟件 • 塊體FP軟件(材料組成分析) • 塊體標(biāo)準(zhǔn)曲線軟件(電鍍液分析) |