機器技術
所有的軸采用四面環(huán)抱氣浮軸承 全封閉的X和Y軸
PRISMO navigator有著優(yōu)秀的抗彎曲性、側(cè)面驅(qū)動的輕結構龍門架、工作臺防護罩以及全封閉的XY驅(qū)動軸。同時還有玻璃陶瓷光柵尺,被動彈性減震系統(tǒng),S-CAA和D-CAA用于補償靜態(tài)和動態(tài)彎曲效應。
選項
MSR探針庫位 配置了VAST gold探頭和ProMax探針更換架的PRISMO
PRISMO可以配備:
●轉(zhuǎn)臺集成為第四軸
●采用托盤和上料系統(tǒng)
●探針更換系統(tǒng)
●ACCEPT®防護罩,適合生產(chǎn)線使用