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TY10Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線(xiàn)露點(diǎn)儀ZX21

TY10

Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線(xiàn)露點(diǎn)儀

ZX21
Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線(xiàn)露點(diǎn)儀
訂 貨 號(hào)：zy408412 品    牌：英國(guó)michell 產(chǎn)    地：英國(guó) 市 場(chǎng) 價(jià)： 折 扣 價(jià)： 發(fā)貨周期：現(xiàn)貨或5天內(nèi)
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Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線(xiàn)露點(diǎn)儀的產(chǎn)品介紹:
在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過(guò)程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來(lái)，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來(lái)在線(xiàn)測(cè)量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的首個(gè)適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。
亮點(diǎn)
測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)
測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡(jiǎn)便
VCR 過(guò)程接口
設(shè)計(jì)緊湊小巧
顯示/報(bào)警單元可選
技術(shù)指標(biāo):

傳感器 

傳感器類(lèi)型

密析爾陶瓷濕度傳感器

量程

-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分辨率

0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

壓力

最低 10-9 torr; 最大 24 MPa

氣體流量

1 ~ 5 Nl/min

電氣

電源

通常 24 V DC, 最低10 V ~ 最高28 V , 最大電流 25 mA

輸出

4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由專(zhuān)用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
最大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯(cuò)狀態(tài)

標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

機(jī)械性能

傳感器套筒

不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光

氣路連接端口

Premium 或 OEM 型: " m VCR 接口
Pura Sensor 型: " m VCR 接口

安裝配置

Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無(wú)需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶(hù)提供的 " VCR 端口中

尺寸

Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm

重量

Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g

包裝

Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

 

 

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Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線(xiàn)露點(diǎn)儀

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