專為高純氣體運用場合,測量微量濕度水平的一體式變送器。
特點:
◆ 安裝簡便
◆ 高度的穩(wěn)定性和重復性
◆ 測量范圍達-120°C露點(<1ppbV)
◆ 100級潔凈室凈化包裝
典型運用:
◆ 在線檢測半導體工業(yè)高純氣的濕度
技術(shù)參數(shù):
測量范圍: |
-120~-40°C露點 |
精度: |
±1°C露點 |
工作壓力: |
30 MPa |
工作溫度: |
-20~+50°C |
氣室材料: |
冷拉不銹鋼, 內(nèi)部0.1~0.2 微米電拋光 |
防護等級: |
IP 65 |
氣路接口: |
1/4’’VCR |
流量等級: |
建議為1~5 NL/Min |
工作電源: |
12~28VDC |
輸出信號: |
4-20mA(RS485 可選) |
溯源性: |
NPL(英國)和NIST(美國) |
質(zhì)量保證期: |
12個月 |