北京中儀提供雙電測四探針測試儀使用方法,滿足你不同地點(diǎn)的使用需求。
·雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置
·由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的
電阻率 | 10(-4)~10(5)Ω.cm可擴(kuò)展 |
方塊電阻 | 10(-3)~10(6)Ω/□可擴(kuò)展 |
電導(dǎo)率 | 10(-5)~10(4)s/cm |
電阻 | 10(-4)~10(5)Ω |
可測晶片厚度 | ≤3mm |
可測晶片直徑小尺寸 | 140mmX150mm配S-2A型測試臺 |
可測晶片直徑標(biāo)準(zhǔn)尺寸 | 200mmX200mm配S-2B型測試臺 |
可測晶片直徑大尺寸 | 400mmX500mm配S-2C型測試臺 |
恒流源電流量程 | 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表量程及表示形式 | 000.00~199.99mV |
分辨力 | 10μV |
輸入阻抗 | >1000MΩ |
精度 | ±0.1% |
顯示 | 四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示極性、超量程自動顯示 |
四探針探頭基本指標(biāo)間距 | 1±0.01mm |
針間絕緣電阻 | ≥1000MΩ |
機(jī)械游移率 | ≤0.3% |
探針 | 碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm |
探針壓力 | 5~16 牛頓(總力) |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | 見探頭附帶的合格證 |
模擬電阻測量相對誤差(按JJG508-87進(jìn)行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機(jī)測量最大相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試) | ≤±4% |
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃ |
相對濕度 | ≤65% |