SE850UV/VIS/NIR光譜橢偏儀光譜范圍: 350 nm - 1700 nm
SE 850是SENTECH公司的紫外-可見(jiàn)光-近紅外光譜橢偏儀,是基于紫外-可見(jiàn)光波段快速二極管陣列探測(cè)器和近紅外波段快速干涉調(diào)制探測(cè)的高性能光譜橢偏儀,能夠快速獲得數(shù)據(jù)并在全波段解析。應(yīng)用FT-IR光譜儀不但能夠提高測(cè)量速度、分辨率和信噪比,還能夠提供自動(dòng)波長(zhǎng)校準(zhǔn)。
主要應(yīng)用
?測(cè)量單層膜或多層膜的厚度和折射率
?在紫外-可見(jiàn)光-近紅外波段測(cè)量材料的光學(xué)性質(zhì)
?測(cè)量厚度梯度
?測(cè)量膜表面和界面間的粗糙程度
?確定材料成分
?分析較厚的膜,厚度范圍可到30微米
?適合測(cè)量In攙雜的半導(dǎo)體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項(xiàng)
?紫外光譜擴(kuò)展選項(xiàng),280 - 850 nm
?近紅外光譜擴(kuò)展選項(xiàng),1700 - 2300 nm
?計(jì)算機(jī)控制高性能消色差補(bǔ)償器
?計(jì)算機(jī)控制起偏器
?計(jì)算機(jī)控制自動(dòng)角度計(jì), 40o-90o, 精度0.01o
?手動(dòng)x-y載物臺(tái),150 mm行程
?電機(jī)驅(qū)動(dòng)x-y載物臺(tái),行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
?透射測(cè)量樣品夾具
?攝象頭選項(xiàng),用于樣品對(duì)準(zhǔn)和表面檢測(cè)
?液體膜測(cè)量單元
?反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
?微細(xì)光斑選項(xiàng)
?自動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng),結(jié)合地貌圖掃描選項(xiàng)
?SENTECH標(biāo)準(zhǔn)樣片
?附加許可,使SpectrRay II軟件可以用于多臺(tái)電腦
光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
基于windows系統(tǒng)的 SpectraRay II 操作軟件包括一個(gè)全面的的建模、模擬和擬合軟件包,操作向?qū)?,自?dòng)輸出結(jié)果,單鍵操作,使得軟件界面友好并且橢偏儀操作簡(jiǎn)易。