SE805 NIR光譜橢偏儀光譜范圍: 700 nm - 1700 nm
SE 805是近紅外光譜橢偏儀,是在近紅外波段基于快速干涉調(diào)制探測的高性能光譜橢偏儀。SE 805使用步進(jìn)掃描分析器方式,調(diào)制光的強(qiáng)度在固定的分析器位置被測量,使用寬帶固體探測器。
主要應(yīng)用
?測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
?在近紅外波段測量材料的光學(xué)性質(zhì)
?測量厚度梯度
?確定材料成分
?分析較厚的膜,厚度范圍可到30微米
?適合測量In攙雜的半導(dǎo)體材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
選項
?近紅外光譜擴(kuò)展選項,700 - 2300 nm
?計算機(jī)控制高性能消色差補(bǔ)償器
?計算機(jī)控制起偏器
?計算機(jī)控制自動角度計, 40o-90o, 精度0.01o
?手動x-y載物臺,150 mm行程
?電機(jī)驅(qū)動x-y載物臺,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌圖掃描軟件
?透射測量樣品夾具
?攝象頭選項,用于樣品對準(zhǔn)和表面檢測
?液體膜測量單元
?反射式膜厚儀FTPadvanced, 光斑直徑80微米
?微細(xì)光斑選項
?自動對焦選項,結(jié)合地貌圖掃描選項
?SENTECH標(biāo)準(zhǔn)樣片
?附加許可,使 SpectrRay II軟件可以用于多臺電腦
光譜橢偏儀軟件SpectraRay II
基于windows系統(tǒng)的 SpectraRay II 操作軟件包括一個全面的的建模、模擬和擬合軟件包,操作向?qū)?,自動輸出結(jié)果,單鍵操作,使得軟件界面友好并且橢偏儀操作簡易。